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molbloc-L 层流元件

molbloc-L 层流元件

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内，是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸，可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。


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商品描述

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内，是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸，可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。


特性一览

  • 可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
  • 整合了过滤器，可保护其免受污染
  • 完整的气体温度调节和测量
  • 连续、实时的读数
  • 可以实现全自动
  • 无活动部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下，当氮气流经 molbloc 时，标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中，molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别，也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力
取决于校准类型（请参阅第 1.2.5.1.3 节）
分辨率 0.0015 % FS
线性 ±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
重复性 ±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
精确度1 ±0.07% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.007％ FS
稳定度2
（1 年期） 		±0.09% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.009％ FS
测量不确定度3 ±0.2% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.02％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体） 1E5 molbloc
±0.5% 读数，从 25% 到 100% FS
±0.125% FS，在 25% FS 以下
1 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。
2 稳定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。
3 测量不确定度（精确度）：molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型（请参阅第 1.2.5.1.2 节）
分辨率 0.0015 % FS
线性 ±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
重复性 ±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS
±0.005% FS，在 10% FS 以下
精确度1 ±0.07% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.007％ FS
稳定度2
（1 年期） 		±0.03% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.003％ FS
测量不确定度3 ±0.125% 读数，从 10% 到 100% FS
10％ FS 下为 ±0.0125％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体） 1E5 molbloc-L 特级校准不可用
1 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。
2 稳定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。
3 测量不确定度（精确度）：molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用

  molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）
测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 量程表）
分辨率 0.01% FS
线性 ±0.23% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.023% FS，在 10% FS 以下
重复性 ±0.1% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.01% FS，在 10% FS 以下
精确度1 ±0.25% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.025% FS，在 10% FS 以下
预测的稳定度2
（一年期） 		±0.15% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.015% FS，在 10% FS 以下
测量不确定度3 ±0.5% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.05% FS，在 10% FS 以下

具有微量程选项的 molbox RFM

  molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L） molbloc-L（量程仅仅是 1E5)
测量更新速率 1 秒 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表） 从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表）
分辨率 0.01 % FS，在 0.001 % FS 以下；0.001 % FS，在 10% FS 以下 0.01% FS
线性 ±0.23% 读数，从 1% 到 100% FS
±0.0023% FS，在 1% FS 以下 		±0.25% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.0125% FS，在 5% FS 以下
重复性 ±0.1% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.001% FS，在 1% FS 以下 ±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
精确度1 ±0.25% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0025% FS，在 1% FS 以下 ±0.32% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.016% FS，在 5% FS 以下
预测的稳定度2
（一年期） 		±0.15% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0015% FS，在 1% FS 以下 ±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
测量不确定度3 ±0.5% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.005% FS，在 1% FS 以下 ±0.5% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.025% FS，在 5% FS 以下